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在之前的博客中，描述了掃描電鏡（SEM）自動(dòng)化分析是如何節(jié)省研究人員和操作員的寶貴時(shí)間。掃描電鏡的操作者使用電鏡的目的各不相同。這篇博客詳細(xì)描述了掃描電鏡（SEM）在自動(dòng)化的激光損傷閾值測(cè)試（LIDT）中的應(yīng)用。

掃描電鏡（SEM）：自動(dòng)化的激光損傷閾值測(cè)試

較強(qiáng)的激光會(huì)破壞光學(xué)器件，如鏡面，光學(xué)涂層或纖維。為了選擇合適的光學(xué)器件， 發(fā)現(xiàn)多大能量的激光會(huì)損害一個(gè)組件，或者*地改變其光學(xué)特性是十分重要的。

圖一：光學(xué)涂層被激光損傷后的掃描電鏡背散射（BSD）圖片

為了確定準(zhǔn)確的激光能量影響大小，需要進(jìn)行激光損傷閾值測(cè)試。柵格圖樣中的光學(xué)器件暴露在具有不同強(qiáng)度和波長(zhǎng)的激光中。在接觸激光后，使用不同類(lèi)型的光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡檢查這些光學(xué)器件的損傷程度。網(wǎng)格包含數(shù)百個(gè)不同的點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)都必須檢測(cè)。人工手動(dòng)測(cè)試將需要消耗大量的時(shí)間。

如何自動(dòng)獲取每個(gè)點(diǎn)的圖像

使用飛納掃描電鏡的可編程接口，創(chuàng)建一個(gè)腳本以自動(dòng)獲取每個(gè)點(diǎn)的圖像。該腳本通過(guò)由激光創(chuàng)建的坐標(biāo)列表來(lái)工作。然后，在兩個(gè)特定坐標(biāo)點(diǎn)上校準(zhǔn)載物臺(tái)，zui后，腳本將在特定的放大倍數(shù)中對(duì)每個(gè)點(diǎn)進(jìn)行圖像采集。

圖2：LIDT掃描腳本的用戶界面：小紅點(diǎn)和綠點(diǎn)代表了光學(xué)涂層暴露在激光下。

所有的圖像都存儲(chǔ)在選定的文件夾中供用戶檢查。如果某個(gè)特定點(diǎn)需要進(jìn)一步檢查，那么，在用戶界面上單擊它就可以很容易地找到并進(jìn)行分析。自動(dòng)化操作為用戶節(jié)省大量的圖像采集時(shí)間。如今，用戶只需要點(diǎn)擊圖像，檢查是否存在損傷即可。