日韩av在线播放不卡丨午夜av资源丨午夜视频免费看丨亚洲美女性生活丨人人爱人人草丨91国产精品一区丨中文在线字幕av丨国产精品aⅴ丨人人爽人人澡人人人人妻丨久久三级中文欧大战字幕丨高hnp视频丨久久日av丨美国伊人网丨大乳三级a做爰大乳丨日本亚洲中文字幕不卡丨美女张开腿黄网站免费下载丨韩国伦理av丨欧洲美女粗暴牲交免费观看丨亚洲资源av无码日韩av无码丨欧美极品在线视频丨夜夜爽8888天天躁夜夜躁狠狠丨国产精品一卡二卡三卡破解版丨忘忧草在线社区www中国中文丨国产成人精品777丨精人妻无码一区二区三区

復納科學儀器(上海)有限公司
技術文章
您現(xiàn)在所在位置:首頁 > 技術中心 > ALD 用戶經典文獻分享|非均勻 ALD 涂層包覆 NCM 工藝的界面研究

ALD 用戶經典文獻分享|非均勻 ALD 涂層包覆 NCM 工藝的界面研究

 更新時間:2024-12-25 點擊量:1577

 

作者:科羅拉多大學 Amanda L. Hoskins 等人

文章:Nonuniform Growth of Sub?2 Nanometer Atomic Layer Deposited Alumina Films on Lithium Nickel Manganese Cobalt Oxide Cathode Battery Materials

 

摘要

 

鋰離子電池的廣泛應用在很大程度上依賴于正極材料的性能。然而,這些材料在循環(huán)過程中容易出現(xiàn)容量衰減、過渡金屬溶解和結構失穩(wěn)等問題,限制了電池的使用壽命和穩(wěn)定性。鋰鎳錳鈷氧化物(LiNi0.33Mn0.33Co0.33O2,簡稱NMC111)是一種高效的正極材料,但其穩(wěn)定性較差,尤其是在高電壓條件下。

 

 

表面工程是解決這些問題的重要策略,其中,通過涂覆薄膜保護正極顆粒表面可有效減少電解質與活性材料之間的副反應。原子層沉積(ALD)技術因其精確的厚度控制和高均勻性,成為研究熱點。然而,大多數(shù)研究假設 ALD 涂層為均勻覆蓋,忽視了薄膜在低循環(huán)數(shù)下的非均勻性及其對電池性能的潛在影響。本文作者借助 Forge Nano 流化床原子層沉積系統(tǒng),通過多種表面分析技術,系統(tǒng)研究了低循環(huán)數(shù) ALD 氧化鋁涂層在 NMC111 表面的非均勻生長特性及其對電池性能的影響,為優(yōu)化涂層設計提供了新的思路。

 

實驗方法

 

本研究選用商業(yè)化的NMC111(LiNi0.33Mn0.33Co0.33O2)作為研究對象,通過使用 Forge Nano 流化床原子層沉積系統(tǒng)進行ALD氧化鋁薄膜的沉積。實驗中,氧化鋁 ALD 薄膜通過 TMA/水反應在 NMC111 顆粒表面生長,反應溫度為 120°C。通過低能離子散射(LEIS)和二次離子質譜(SIMS)等表征手段,對不同 ALD 循環(huán)次數(shù)下薄膜的生長特性進行了深入分析。

 

結果與討論

 

1.ALD 薄膜的非均勻生長特性

 

通過 LEIS 和 SIMS 分析,研究發(fā)現(xiàn)在低循環(huán)次數(shù)下,ALD 氧化鋁薄膜在 NMC111 顆粒表面的生長是非均勻的。在低于 10 個 ALD 循環(huán)時,薄膜并未全覆蓋顆粒表面,而是優(yōu)先在過渡金屬結合位點上沉積,而對表面的鋰覆蓋較少。即使在 10 個 ALD 循環(huán)后,鋰仍然存在于正極粉末表面。這一發(fā)現(xiàn)與現(xiàn)有假設相悖,即 ALD 薄膜在顆粒上均勻生長并全覆蓋表面。

 

2.ALD 薄膜對電池性能的影響

 

盡管 ALD 薄膜在 NMC111 顆粒表面的沉積是非均勻的,但研究表明這種非均勻性可能對電池性能有積極影響。非均勻的 ALD 薄膜在穩(wěn)定過渡金屬氧化物的同時,并未阻斷鋰離子的插層通道,從而在電解液存在的情況下提高了電池正極活性材料的循環(huán)穩(wěn)定性。這一發(fā)現(xiàn)證實了在 ALD 涂層正極顆粒的合成表面上鋰仍然暴露,并且當使用少于 10 個 ALD 循環(huán)時,ALD 薄膜是非均勻生長的。

 

3.ALD 薄膜生長機制的探討

 

鋰離子電池的廣泛應用在很大程度上依賴于正極材料的性能。然而,這些材料在循環(huán)過程中容易出現(xiàn)容量衰減、過渡金屬溶解和結構失穩(wěn)等問題,限制了研究進一步探討了 ALD 薄膜的生長機制。

 

結果表明,ALD 過程以復雜的方式發(fā)展,初始沉積優(yōu)先覆蓋了 Mn、Co 和 Ni 過渡金屬氧化物。超過 10 個循環(huán)后,Mn、Co 和 Ni 被全覆蓋,但 Al 信號持續(xù)增加,表明 ALD 層尚未全覆蓋表面。這一現(xiàn)象表明,一部分仍然暴露在外,且表面未被 ALD 層全覆蓋。

 

圖1展示了(a)鋁和(b)錳及鎳鈷特征峰的 LEIS 譜圖。隨著循環(huán)次數(shù)的增加,鋁信號增加,同時錳和鎳鈷信號相應減少,表明薄膜正在基底表面形成。經過 10 次氧化鋁 ALD 循環(huán)后,錳和鎳鈷的峰被全抑制。

 

圖2. 集成的 LEIS 數(shù)據(jù)表示隨著 ALD 循環(huán)次數(shù)增加的表面分數(shù)覆蓋情況。Mn、Co 和 Ni 在 10 個TMA/H2O ALD 循環(huán)后被全覆蓋。然而,表面的鋁尚未達到全薄膜的飽和狀態(tài),這表明 ALD 優(yōu)先在Mn、Co 和 Ni 位點上沉積,而留下 Li 未被覆蓋,直到形成連續(xù)薄膜。

 

通過 TOF-SIMS 分析,證實了 LEIS 的結果,即盡管 LEIS 無法直接測量鋰,但過渡金屬位點的全覆蓋發(fā)生在整個表面全覆蓋之前。耦合這些結果表明,ALD過程中,氧化鋁通過優(yōu)先覆蓋過渡金屬位點從而形成涂層。但在低循環(huán)次數(shù)下,外層由 Li、Al 和 O 組成,這可能是由于循環(huán)的死Li以及內部 Li 遷移穿過基底和現(xiàn)有薄膜產生的表面位點。

 

圖3:來自 TOF-SIMS 分析的離子圖像。從上到下依次展示了 Li、Ni、Mn、Co 和 Al 信號的圖像,氧化鋁循環(huán)次數(shù)從左到右顯示。圖像顯示了隨著氧化鋁在樣品上的沉積,Li 的濃度逐漸降低。然而,與代表Ni、Mn 和 Co 的信號相比,Li 信號并未被全抑制。Ni、Mn 和 Co 信號的抑制表明它們幾乎被全覆蓋。TOF-SIMS 圖像中顏色的強度與測量深度內的元素濃度相關。顏色強度可能相當主觀,因此本研究的結果也通過 圖4 中呈現(xiàn)的信號計數(shù)以數(shù)值形式展示。15個循環(huán)的鋰圖像中可見的強度變化可以歸因于粒徑/曲率和z高度的大變化。

 

 

圖4:TOF-SIMS圖譜中 Li、Al、Ni、Mn 和 Co 的絕對信號計數(shù)。內嵌表格展示了經過 4 個循環(huán)和 15 個循環(huán)的氧化鋁 ALD 后,NMC 正極主要成分(Li、Ni、Mn 和 Co)相對于未涂層樣品的殘余信號百分比。這些值清楚地表明,ALD 更傾向于在過渡金屬表面位點上沉積氧化鋁,并且在此處展示的 15 個 ALD 循環(huán)內,未能實現(xiàn)表面鋰的全覆蓋,即使氧化鋁的厚度超過 1 納米。

 

圖5:對 LiOH、Li2CO3 和 NMC111 進行 TMA/H2O ALD 循環(huán)后,比較了面積標準化的鋁(Al)重量百分比。ICPMS 得到的鋁重量百分比數(shù)據(jù)通過每個未涂層基底粉末的 BET 比表面積進行了標準化。LiOH 上相較于 Li2CO3 更高的生長速率表明,在 Al2O3 ALD 過程中,這些表面表現(xiàn)出不同的特性,這對于觀察到的 NMC 基底上 Al2O3 的生長有重要影響。看起來在最初的大約 9 個 ALD 循環(huán)中發(fā)生了一些非 ALD 反應,可能是形成了 Li-Al 氧化物產物,直到從 10 到15 個循環(huán)時才沉積出典型的 Al2O3 ALD 薄膜。

 

圖6:使用 ALD 包覆后的 NCM111 材料的 EDS 分析

 

圖7:ALD 包覆 NCM111 材料的 TEM 圖像,顯示4 cycle 的包覆是不連續(xù)的涂層,15 cycle 的包覆形成了較為連續(xù)的涂層。

 

4  ALD 薄膜對電池性能提升的機制

 

基于上述結果,研究提出了 ALD 薄膜提升電池性能的可能機制。非均勻的低循環(huán) ALD 薄膜可能通過在前面 10 個循環(huán)內產生的未受阻的路徑促進 Li 離子的移動,這些路徑由于表面覆蓋的非均勻性而使部分Li暴露。顯然,ALD 優(yōu)先在正極顆粒表面的過渡金屬結合位點上沉積,并在最初幾個循環(huán)中較少地覆蓋表面 Li 。對于 2nm 以下薄膜而言,了解此處報告的優(yōu)先沉積對于未來先進工程正極顆粒表面至關重要,其中控制表面組分的穩(wěn)定可能產生一類新的高性能正極。

 

總結與結論

 

本研究通過實驗和分析,揭示了 ALD 氧化鋁薄膜在 NMC 正極材料上的生長特性和機制。研究發(fā)現(xiàn),低循環(huán)次數(shù)下 ALD 薄膜的生長是非均勻的,這種非均勻性可能對電池性能有積極影響。非均勻的 ALD 薄膜在穩(wěn)定過渡金屬氧化物的同時,并未阻斷鋰離子的插層通道,從而提高了電池正極活性材料的循環(huán)穩(wěn)定性。這一發(fā)現(xiàn)對于理解 ALD 薄膜如何提升電池性能具有重要意義,并為未來正極材料表面改性提供了新的思路。



傳真:

郵箱:info@phenom-china.com

地址:上海市閔行區(qū)虹橋鎮(zhèn)申濱路 88 號上海虹橋麗寶廣場 T5,705 室

版權所有 © 2018 復納科學儀器(上海)有限公司   備案號:滬ICP備12015467號-2  管理登陸  技術支持:化工儀器網  GoogleSitemap

a午夜| 日韩一级免费片| 久久久久久久久久久免费av| 日韩精品免费播放| 性裸交a片一区二区三区| 91九色国产蝌蚪| 日韩av在线高清| 男人天堂1024| 欧美一级一区二区三区| 久拍国产在线观看| 曰曰摸夜夜添夜夜添高潮出水| 日本免码va在线看免费| 成人免费做受小说| 大陆极品少妇内射aaaaa| 大吊av| 精品国产一区二区三区忘忧草 | 玩弄少妇人妻中文字幕| 国产成人亚洲综合色婷婷秒播| 国产白丝护士av在线网站| 天堂中文在线看| 蜜臀麻豆| 成人黄色大片| 欧美成人精品欧美一级私黄| 日韩a在线观看| 天天射美女| 日韩亚洲一区二区| 国产一区二区视频播放| 成人免费乱码大片a毛片| 香港三日三级少妇三级66| 久久精品av一区二区三 | 天堂伊人| 91成人看片| 久久综合狠狠综合久久| 久久久人成影片一区二区三区 | 色七七在线| 国产成人综合美国十次| 国产久草av| 欧美最猛黑人xxxx黑人猛交98| 色小姐av| 九色精品| 日韩一二三四区| 少妇私密会所按摩到高潮呻吟| 色哟哟国产最新| 亚洲精品男人天堂| 精品无码中文视频在线观看| 蜜臀av国产精品久久久久| 偷偷操av| 91中文字幕在线视频| 热久久99热精品首页| 国产a级黄色| 欧美性videos高清精品| 亚洲性生活| 亚洲视频一| 色图一区| 中国精品妇女性猛交bbw| 无码专区6080yy国产电影| 久久综合给合久久狠狠狠88| 一个人看的免费高清www视频| 国产精品久久久久久久免费| 2019日韩中文字幕mv| 香蕉爱爱视频| 二区在线播放| 久久精品视频一区二区三区| 99在线免费观看视频| 91久久久精品国产一区二区蜜臀 | 91天堂素人| 亚洲va欧美va人人爽春色影视| 极品白嫩的小少妇avove| 中文字幕高清视频| 亚洲美女自拍| 国产无限制自拍| 欧美色欧美亚洲高清在线观看| 一区二区三区麻豆| 亚洲天堂精品在线观看| 一本色道a无线码一区v| 在线a人片免费观看| 啪啪在线观看| 亚洲欧美自偷自拍视频图片| 高潮av| 免费观看黄色片网站| 妇子乱av一区二区三区| 九九视频九九热| 98国产视频| 亚洲福利二区| 人妖另类巨茎双性人欧美视频| 在线亚欧观看2023| 免费a级大片| 久久综合精品国产一区二区三区无| 亚洲日本一区二区三区在线| 国产午睡沙发被弄醒完整版| 中国老女人内谢69xxxx| 影音先锋男人av鲁色资源网| 久久久久久久久99精品情浪| 永久免费观看的毛片视频| 国产一级爱c视频| 欧美成人精品一级乱黄| 青青久久av| 亚洲三级香港三级久久| 男女真人国产牲交a做片野外| 精品欧美乱码久久久久久| 欧美xxxx黑人又粗又长密月| 91精品国产综合久久香蕉麻豆| 精品少妇88mav| 久久亚洲色一区二区三区| 久久久久久久久久久久久久久久久久 | 一区二区美女| 精品一区二区三区四区外站| 绯色av粉嫩av蜜臀av| 人妻一区二区三区高清av专区| 97在线播放| 黄色毛片视频校园交易 | 欧美国产一级| 国产在线观看精品| 人妻激情偷乱一区二区三区| 免费国产h视频在线观看| 色网站入口| 日韩免费专区| 清朝荒淫性艳史| www亚洲色图| 激情五月综合色婷婷一区二区| 成年人黄色片网站| 能直接看的av| 日韩女优在线视频| 伊人69| 国产情侣自拍小视频| 四色成人网| 日韩午夜av| 成人av网站大全| 人妻精品制服丝袜久久久| 无码av中文字幕一区二区三区| 国产美女精品自在线拍免费| 91射| 国产乱码免费卡1卡二卡3卡四卡| 国产农村乱对白刺激视频| 激情偷乱人伦小说视频| 亚洲激情五月婷婷| 一边啪啪一边呻吟av夜夜嗨| 天天干,夜夜操| 69免费| 国产中文字幕视频| 美乳少妇与邻居尤物啪啪| 国产午夜毛片| 中文毛片| 国产精品久久久久久亚洲影视| 国产成人av性色在线影院色戒| 天天做天天摸天天爽欧美一区 | 日韩五码高清麻豆| 日韩免费网| 尤物视频免费在线观看| a级黄色网| 在线黄色网页| 久久艹这里只有精品| 亚洲a无码综合a国产av中文| 一区二区xxx| 日本少强伦xxxhd| 偷拍xxxx| 色先锋av影音先锋在线| 在线免费观看成年人视频| www.热久久| 日韩国产三级| 无码人妻一区二区三区免费n鬼沢| 美女一级| 让少妇高潮无乱码高清在线观看| 思思久久精品一本到99热| 黑人添美女bbb添高潮了| 婷婷开心激情网| 亚洲人的天堂| 日韩欧美网| 伊人久久综合无码成人网| 免费看黄在线网站| 色综合99久久久无码国产精品| 男操女视频网站| 91热在线| 亚洲成人高清| 黄色片视频免费观看| av永久免费| 色综合久久天天| 国产理论在线| 国产精品久久久久久久久免费软件| 亚洲成人在线网站| 成熟少妇99av视频| 日本在线h| 超碰在线c| 日韩欧美网| 国产精品区免费视频| 亚洲日韩精品无码专区| 久久精品久久久久久噜噜| 国产成人免费观看| 毛片手机在线| 久久久久久久性潮| 亚洲这里只有久热精品伊人| 舌头伸进去添的我好爽高潮欧美| 成人影片网址| 久久不见久久见完整版| 国产午夜性春猛交ⅹxxx| 久久久久久久久久av| 国内偷自拍性夫妇| 成人黄色av| 国产乱子伦农村叉叉叉| jlzzjlzz亚洲日本少妇| 三级av免费| www.国产免费| 毛片女人| 老女人毛片| 精品人妻人人做人人爽| av片在线观看| 在线免费av片| 国产三级网| 长腿校花无力呻吟娇喘的视频| 国产精品1区| 国产无遮无挡120秒| 在线天堂中文| 99久久精品视香蕉蕉| 青草视频网| 91亚洲乱码卡一卡二卡新区豆瓣| 亚洲国产精品成人综合色| 天干天干夜天干天天爽| 亚洲国产系列| 黄色a免费| 久操视频免费在线观看 | 777米奇色狠狠俺去啦奇米77 | 久久影视中文字幕| 国产欧美一区二区精品97| 1515hh毛片大全免费| 免费xxxxx在线观看网站软件 | 久草在线手机视频| 亚洲免费网站| 免费在线精品视频| 玖玖久久| 天天躁狠狠躁狠狠躁夜夜躁| 免费专区丝袜调教视频| 欧美疯狂做受xxxxx高潮| 中文字幕日韩一级| 亚洲伊人成无码综合网| 国产成人美女裸体片免费看| 免费激情片| 少妇一级淫片免费播放| 成人黄色网| 日韩中文字幕精品| 狠狠爱五月丁香亚洲综合| av中文在线天堂| 老司机一区| 国产精品国产三级国产aⅴ原创 | 丨国产丨调教丨91丨| 67194午夜| 亚洲日韩亚洲另类激情文学| 日日拍拍| 亚洲综合久| 亚州久久久久区1区2少妇| 欧美双人家庭影院| 香蕉视频官网| 日韩人妻少妇一区二区三区 | 久久精品视频网站| 成人午夜亚洲精品无码区| 国产精品亚洲а∨无码播放| av天堂东京热无码专区| 伊人久久综合无码成人网| 国产做a爰片久久毛片a片| 99mav| 97超碰精品成人国产| 久久久精品波多野结衣| 女人做爰全过程免费观看美女| 久久久亚洲欧洲日产国码αv| 国产丝袜网站| h黄动漫日本www免费视频网站| 尹人香蕉久久99天天拍久女久| 天天干夜夜草| 欧美精品成人一区二区三区四区| 亚洲欧洲日产国产av无码| 91极品在线| 亚洲男同视频网站| 翘臀少妇后进一区二区| 8mav精品成人| 女人被狂躁c到高潮视频| 色噜噜狠狠一区二区三区果冻av| 伊人网址| 亚洲另类丝袜综合网| 九九精品在线播放| 又黄又猛又爽大片免费| 国产精品乱码一区二区三| 国产亚洲精品成人| 久久久欧美精品激情| www色婷婷com| 色婷综合| 日韩精品一区二区三区四区在线观看| 欧美内射rape视频| 国产女人喷潮视频免费| 成人国产精品一区二区视频 | 97精品人妻一区二区三区香蕉| 国产精品偷伦小说| 少妇综合网| 久久国产精品无码网站| 高清无码不用播放器av| 7777欧美大白屁股ass| 成人亚洲视频| 丁香五月亚洲综合深深爱| 黄色小视频免费网站| 黄色av网页| 免费毛片播放| 欧美色aⅴ欧美综合色| 亚洲无线码高清在线观看| 人妻三级日本香港三级极97| 9l视频自拍九色9l视频最新| 香蕉视频免费看| 成年人午夜影院| 亚洲最新在线视频| 国产主播精品| 韩国美女啪啪| 欧美与动人物性生交| 国产午夜av| 亚洲第一天堂无码专区| 暖暖日本在线| 91欧美日韩| 亚洲xxxx18| www.xxx.国产| 国产96在线 | 国产| 日韩无套内射视频6| 成人黄色在线网站| 日韩国产欧美视频| 午夜成人亚洲理论片在线观看| 日韩国产欧美在线视频| 亚洲wwww| 韩国精品视频| 国产成人av大片在线观看| 性色av无码中文av有码vr| 久久麻豆成人精品av| 91成人精品一区在线播放| www黄色网| 又色又爽又高潮免费观看| 免费不卡av| 精品国产18久久久久久二百| 国产粉嫩嫩00在线正在播放| 成人亚洲a片v一区二区三区动漫| 亚洲国产精品一区二区久久恐怖片| 成人香蕉视频在线观看| 欧美大片在线观看| 亚洲最大成人在线观看| 国产卡二卡三卡四卡免费网址| 韩国久久久久久级做爰片| 久久久久亚洲精品无码系列|