臺(tái)式掃描電鏡(Scanning Electron Microscopy，SEM)是一種利用電子束掃描樣品表面并收集二次電子信號(hào)來(lái)生成高分辨率圖像的顯微鏡，主要由電子槍、電磁透鏡系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)和探測(cè)器等部分組成。工作時(shí)，電子槍產(chǎn)生一束極細(xì)的高能電子束，經(jīng)過(guò)電磁透鏡聚焦后，掃描樣品表面。當(dāng)電子束撞擊樣品時(shí)，會(huì)激發(fā)樣品表面產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號(hào)，這些信號(hào)被探測(cè)器接收并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，再通過(guò)顯示器呈現(xiàn)出樣品表面的形貌圖像。
臺(tái)式掃描電鏡的特點(diǎn)：
1.高分辨率：能夠提供比光學(xué)顯微鏡更高的分辨率，通常可達(dá)到納米級(jí)別，使得研究人員能夠更清晰地觀察樣品的微觀結(jié)構(gòu)。
2.三維立體感強(qiáng)：由于電子束是從不同角度照射到樣品表面，生成的圖像具有強(qiáng)烈的三維立體感，有助于更直觀地理解樣品的形態(tài)和結(jié)構(gòu)。
3.應(yīng)用廣泛：適用于各種樣品的觀察，包括金屬、陶瓷、聚合物、生物組織等，因此在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。
4.操作簡(jiǎn)便：相較于大型掃描電鏡，通常體積更小、價(jià)格更低，且操作更為簡(jiǎn)便，適合在實(shí)驗(yàn)室和教學(xué)環(huán)境中使用。
臺(tái)式掃描電鏡的應(yīng)用：
1.可用于觀察材料的微觀結(jié)構(gòu)、晶體形態(tài)、缺陷分布等，為材料的研發(fā)和性能優(yōu)化提供有力支持。
2.在生物學(xué)領(lǐng)域，可用于觀察細(xì)胞、組織、器官等生物樣本的表面形貌和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，有助于深入了解生命過(guò)程和疾病機(jī)制。
3.在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛，如病理診斷、藥物研發(fā)、醫(yī)療器械檢測(cè)等，為提高醫(yī)療水平和保障患者健康發(fā)揮了重要作用。
4.在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，可用于檢測(cè)芯片表面的缺陷、測(cè)量線(xiàn)寬等關(guān)鍵參數(shù)，確保半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
